Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Crystal structures of reactively sputtered WNx films

반응성 스퍼터링 법으로 제조된 WNx 막의 결정 구조

  • 이종하 (금오공과대학교 재료.금속공학부) ;
  • 최병호 (금오공과대학교 재료.금속공학부)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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