Dry etching method of copper film via oxidation process

산화공정을 이용한 구리박막의 식각 방법

  • 강상우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실)
  • Published : 1998.11.01