Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Structural Characteristics of DLC films by Plasma Emission Spectroscopy Analysis

플라즈마 분광 분석을 통한 DLC 박막의 구조 특성 연구

  • 강신구 (아주대학교 표면공학연구실) ;
  • 김준우 (아주대학교 표면공학연구실) ;
  • 진억용 (아주대학교 표면공학연구실)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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