The study on leakage current reduction by low temperature heat treatment in amorphous $TaO_x$ thin film capacitors fabricated on polymer substrate

폴리머 기판 위에 만들어진 비정질 $TaO_x$ 박막 커패시터의 저온 열처리에 의한 누설전류 감소에 관한 연구

  • 조성동 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 백경욱 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1998.11.01