Microstructure and Interfacial Reaction of $SrRuO_3$ Thin Film for a Bottom Electrode of BST

$Ba_{X}Sr_{1-X}$$TiO_3$ (BST)용 하부전극 $SrRuO_3$ 박막의 미세구조와 계면반응에 관한 연구

  • 오상호 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • Published : 1998.11.01