Study on YSZ thin films fabricated by PEMOCVD

PEMOCVD를 이용한 YSZ 제조에 관한 연구

  • 김기동 (한국가스공사 연구개발원) ;
  • 신동근 (한국가스공사 연구개발원) ;
  • 조영아 (한국가스공사 연구개발원) ;
  • 전진석 (한국가스공사 연구개발원) ;
  • 최동수 (한국가스공사 연구개발원) ;
  • 박종진 (한국가스공사 연구개발원)
  • Published : 1998.11.01