Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Influence of vacuum-annealingon the diffusion barrier property of TiN for Cu metallization

진공열처리가 TiN의 확산방지특성에 미치는 영향

  • 조흥렬 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 오상헌 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1998.11.01
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