Characteristics of Magnesium titanate Thin Film Deposited on (111) Si Wafer

(111) 실리콘 기판에 증착한 티탄산 마그네슘 박막의 특성

  • 염정훈 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과)
  • Published : 1998.11.01