Si 기판 위에 후막 GaN의 HVPE 성장

HVPE growth of thick-film GaN on Si

  • 이명희 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 김연우 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 김선태 (대전산업대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1998.05.01