백금 박막의 방향성 및 미세구조에 미치는 산소의 영향

Effect of Oxygen on the Orientation and Microstructure of Pt Thin Films

  • 최영철 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
  • 이병수 (전북대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1998.05.01