플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

A Study on Amorphous Silicon Thin Film Solar Cell Using B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H Films Grown by PECVD

  • 정연학 (울산대학교 재료공학.금속공학부) ;
  • 박재석 (울산대학교 재료공학.금속공학부) ;
  • 이재신 (울산대학교 재료공학.금속공학부)
  • 발행 : 1998.05.01