Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The behavior of ozone in dilute Hf and its cleaning efficiency

희석된 불산 내의 오존의 거동과 세정 효과

  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진우 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

Keywords