02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1998.02a
/
Pages.188-188
/
1998
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
VUV Excimer Lampp 의 제작과 그 파장특성에 대한연구
김병동
(서울대학교 공업화학과) ;
이지화
(서울대학교 공업화학과)
Published : 1998.02.01
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