자화유도결합플라즈마를 이용한 pplatinum 식각에 관한 연구

  • 김진성 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 김정훈 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 주정훈 (군산대학교 재료공학과)
  • Published : 1998.02.01