접속이온빔 장치를 이용한 금속시료의 스퍼터링 수율측정

  • 김수용 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실) ;
  • 오현주 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 및 플라즈마 연구실)
  • 발행 : 1998.02.01