한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.121-122
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- 1998
Raman 분광법에 의한 질화된 GaAs의 결함 연구
초록
Raman 분광학을 이용하여 질화된 GaAs 박막의 특성을 조사 하였다. GaAs 질화 과 정은 상온에서부터
키워드
Raman 분광학을 이용하여 질화된 GaAs 박막의 특성을 조사 하였다. GaAs 질화 과 정은 상온에서부터