AIN 박막을 이용한 표면탄성파 소자의 특성

  • 주한용 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이재빈 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1998.02.01