Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1998.02a
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- Pages.75-76
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- 1998
$Ta(OC_2H_5$ )5와 $NH_3$ 를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords