Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1998.02a
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- Pages.70-70
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- 1998
전자빔 리소그라피를 이용한 실리콘 산화막의 직접 패터닝
- Jeong, Seok-Gu ;
-
Choe, Beom-Ho
;
- Kim, Seok-Il ;
- Hyeon, Chan-Gyeong ;
- Hwang, Seong-U (Dept.of Electrical Electronics Communication Engineering, Korea University) ;
- Park, Jeong-Ho (Dept.of Electrical Electronics Communication Engineering, Korea University) ;
- Kim, Yong ;
- Kim, Eun-Gyu ;
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Min, Seok-Gi
- 정석구 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
-
최범호
(한국과학기술연구원 반도체재료연구실)
;
- 김석일 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
- 현찬경 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
- 황성우 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
- 박정호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
- 김용 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
- 김은규 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
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민석기
(한국과학기술연구원 반도체재료연구실)
- Published : 1998.02.01
Abstract
Keywords