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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1998.06a
/
Pages.139-139
/
1998
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
정석재
(성균관대학교 화학공학과) ;
양호식
(성균관대학교 화학공학과) ;
조성민
(성균관대학교 화학공학과)
Published : 1998.06.01
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