Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

UBM 소스 설계를 위한 자기장 시뮬레이션

  • 임태균 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 박형국 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 이석연 ((주) 진산엔지니어링) ;
  • 염승호 ((주)진산엔지니어링)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

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