유도 결합 플라즈마를 이용한 6H-SiC 식각 연구

• 김희연 (동국대학교 물리학과) ;
• 이상욱 (동국대학교 물리학과) ;
• 이호승 (동국대학교 물리학과) ;
• 최영순 (동국대학교 물리학과) ;
• 안성수 (동국대학교 물리학과) ;
• 문종엽 (동국대학교 물리학과) ;
• 신동혁 (동국대학교 물리학과)

• Published : 1998.06.01

• PDF