Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

In situ Monitoring of As/P Exchange Reaction & Arsenic Carryover in Metalorganic Chemical Vapor Deposition by Surface Photo-absorption

  • 황희돈 (서울대학교 재료공학부 반도체 공동연구소) ;
  • 이태완 (서울대학교 재료공학부 반도체 공동연구소) ;
  • 문영부 (서울대학교 재료공학부 반도체 공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부 반도체 공동연구) ;
  • 김영동 (경희대학교 물리학과)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

Keywords