Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Dielectic Induced Interdiffusion of InGaAs/InAlAs Multi-Quantum Wells by Two Step Rapid Thermal Annealing

  • 유경란 (서울대학교 재료공학부 및 반도체 공동연구소) ;
  • 문영부 (서울대학교 재료공학부 및 반도체 공동연구소) ;
  • 이태완 (서울대학교 재료공학부 및 반도체 공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부 및 반도체 공동연구소)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

Keywords