한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

The effect of nucleation layer growth rate on structural and electrical propperties of GaN grown by metalorganic chemical vapor dposition(MOCVD)

  • 김동준 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 문용태 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 안광순 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김효근 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • 발행 : 1998.06.01
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