Ion Beam assisted Evapporation 공정을 이용한 GaN 박막 합성시 질소종 및 에너지가 박막 물성에 미치는 영향

• 심희성 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 김기성 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 전찬욱 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 김선효 (포항공과대학교 재료금속공학과)

• 발행 : 1998.06.01

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