RF 스퍼터링 방법으로 증착된 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 유전 및 초전특성에 대한(Ba+Sr)/Ti 조성비의 영향

  • 박재석 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 김명수 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 이용현 (경북대학교 전기전자공학부) ;
  • 한석룡 (한국전자 종합연구소) ;
  • 이재신 (울산대학교 재료금속공학부)
  • Published : 1998.06.01