RF-Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구

  • 김여중 (육군사관학교 군사과학 대학원 재료과학과) ;
  • 조길호 (육군사관학교 군사과학 대학원 재료과학과)
  • Published : 1998.06.01