$Si_3N_4$ 기판 위에 PECVD법으로 형성한 tungsten nitride 박막의 형성

  • 배성찬 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 최시영 (경북대학교 전자·전기공학부)
  • 발행 : 1998.06.01