Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Coper 확산방지막으로서의 titanium nitride의 열적 안정성 연구

  • 박병남 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
  • 최시영 (경북대학교 전자·전기공학부)
  • Published : 1998.06.01
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