02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1998.06a
/
Pages.40-41
/
1998
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장
방용익
(단국대 전자공학과) ;
김민영
(단국대 전자공학과) ;
장호정
(단국대 전자공학과) ;
장지근
(단국대 전자공학과)
Published : 1998.06.01
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