반응가스중에서 레이저에 의한 난가공재료의 미세가공

  • 이경철 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 정재훈 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 이천 (인하대학교 전기공학과)
  • 발행 : 1998.06.01