Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference (한국막학회:학술대회논문집)

The Membrane Society of Korea (한국막학회)
권호 표지

Process Developmentof Wastewater Contaning Silicon Fine Particles by Ultrafiltration for Water Reuse

한외여과에 의한 Si 미립자 함유폐수 재이용 공정개발

  • 전재홍 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ;
  • 함용규 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ;
  • 이석기 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ;
  • 남석태 (경일대학교 화학공학과) ;
  • 최호상 (경일대학교 화학공학과)
  • Published : 1998.04.01
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Abstract

1. 서론 : 반도체 제조공정중의 공정폐수로 발생되는 Si 미립자 함유폐수는 많은 양의 초순수와 1차세정 폐수로 방류되므로 유가물인 Si가 상당량 함유되어 있다. 이러한 폐수의 재이용을 위해 본 연구에서는 미립자 Si를 농축, 회수하고 양질의 처리수를 얻고자 한외여과막 분리공정을 적용하였고, 한외여과막 공정의 조업변수를 평가하여 air back flushing에 의한 막세척 효율 및 fouling 제어특성, 각각의 membrane이 갖는 분획분자량 특성에 따른 처리수 수질 및 flux 비교를 통해 scale up할 경우 필요한 조업변수를 얻고자 실시하였다.

Keywords