대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
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- Pages.1558-1560
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- 1998
매크로기공을 갖는 다공질 실리콘 다이어프램의 제작
Fabrication of Macroporous Silicon Diaphragms
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Min, Nam-Ki
(Korea university) ;
- Ha, Dong-Sik (Hyundai electronics) ;
- Jeong, Woo-Sik (Korea university) ;
- Min, Suk-Ki (Korea university)
- 발행 : 1998.07.20
초록
Macroporous silicon diaphragms 20 to
키워드