Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1998.07d
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- Pages.1514-1515
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- 1998
Synthesis of diamond thin films from $H_2-CH_4$ gas mixture by rf PACVD
고주파 플라즈마 CVD에 의한 $H_2-CH_4$ 계로부터 다이아몬드 박막의 합성
- Lee, Sang-Hee ;
- Klm, Dae-Il ;
- Park, Sang-Hyun ;
- Kim, Bo-Youl ;
- Lee, Jong-Tae ;
- Woo, Ho-Whan ;
- Han, Sang-Ok ;
- Lee, Duck-Chool
- 이상희 (인하대학교 전기공학과) ;
- 김대일 (인하대학교 전기공학과) ;
- 박상현 (경남대학교 전기공학과) ;
- 김보열 (인하공업전문대학 전기과) ;
- 이종태 (인하공업전문대학 전기과) ;
- 우호환 (인하공업전문대학 전기과) ;
- 한상옥 (충남대학교 전기공학과) ;
- 이덕출 (인하대학교 전기공학과)
- Published : 1998.07.20
Abstract
Diamond thin films were deposited on n-type (100) Si wafers from
Keywords