대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
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- Pages.1330-1332
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- 1998
MPCVD를 이용한 다결정 다이아몬드 박막의 증착 및 물성 분석
Characterization of polycrystalline diamond thin films deposited by using an MPCVD
- Lee, Jin-Bock (Hanyang University) ;
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Park, Jin-Seok
(Hanyang University) ;
- Ryu, Kyung-Sun (Kyungwon University) ;
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Kwon, Sang-Jik
(Kyungwon University)
- 발행 : 1998.07.20
초록
Polycrystalline diamond films are deposited on a Si substrate by employing a 2.45 GHz
키워드