저온성장 AlGaAs/GaAs에서 As의 석출거동

  • 박찬로 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이재덕 (한국표준과학연구원 소재특성분석센터) ;
  • 노삼규 (한국표준과학연구원 소재특성분석센터)
  • Published : 1997.05.01