HRTEM Study of Solid Phase Crystallized $Si_{1-x}Ge_x$ Thin Films on $SiO_2$

산화막 위에서 고상 결정화한 $Si_{1-x}Ge_x$의 고분해능 투과전자현미경 연구

  • 김홍승 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1997.05.01