전자빔 조사에 의한 반도체 소자의 기능저하 연구

A Study on Quality Degradation of Semiconductor Devices by Electron Bean Exposure

본 연구에서는 BJT(Bipolar Junction Transistor)와 MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 등을 1MeV에너지의 전자빔을 선량을 변화시켜가며 조사시켜 그 특성 변화를 분석하였다. BJT에 대해서는 조사 전, 후의 전류 이득의 측정을 통해 base 에서의 minority-carrie의 수명 변화에 의해서 전류 이득이 감소하는 것으로 나타났으며, MOSFET의 경우는 oxide 지역의 전하량 변화에 의해서 문턱 전압이 영향을 받음을 확인할 수 있었다. BJT의 minority-carrier의 수명 감소량은 조사 선량이 증가함에 따라 직선적으로 변화함을 알 수 있었고, MOSFET의 문턱 전압의 변화는 nMOS와 pMOS의 경우 서로 다름을 관찰할 수 있었는데 이는 oxide내에서 발생하는 전하에 의해 차이가 남을 알 수 있었다.