Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference (한국원자력학회:학술대회논문집)
- 1997.05b
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- Pages.223-230
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- 1997
DLC/Diamond 박막의 원자력분야 응용을 위한 기본연구
Abstract
최근들어 그 활용도가 점점 증대되고 있는 DLU(Diamond-like Carbon) /Diamond 박막(thin film)의 합성기술을 개발하여 원자력분야에 응용하고자 시도하였다. 이를 위하여 13.56 MHz의 고주파(RF: radio-frequency)를 사용하는 플라즈마 화학증착(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치를 직접 제작하여 탄소함유(CH
Keywords