한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.246-249
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- 1997
RF Plasma CVD에 의한 다이아몬드 박막의 합성
Synthesis of Diamond thin films by RF Plasma CVD
초록
Diamond thin films were deposited on Si wafer from a mixture of CE
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