한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.25-29
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- 1997
초박막 GNO 구조의 TDDB 특성에 관한 연구
A Study on the TDDB Characteristics of Superthin ONO structure
초록
Capacitor-type MONOS (metal-oxide-nitride-oxide- semiconductor) NVSMs with 23
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