한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.539-542
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- 1997
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- 2005-8446(pISSN)
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 설계
Design of the precision micro-positioning stage
초록
We present a micro-positioning stage that has minimized geometrical error and can drive in the 4-axis. This stage divided into two parts:
키워드