정압테이블을 이용한 나노미터 위치결정

  • 박천홍 (한국기계연구원 공작기계그룹) ;
  • 이찬홍 (한국기계연구원 공작기계그룹) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 공작기계그룹)
  • 발행 : 1997.10.01