Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Properties of a-C:H thin film by DC saddle-field CVD

DC saddle field PECVD로 제작한 a-C:H 박막의 특성

  • 유영조 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김효근 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 장홍규 (금호정보통신연구소 박막기술팀) ;
  • 정용근 (금호정보통신연구소 박막기술팀) ;
  • 오재석 (금호정보통신연구소 박막기술팀) ;
  • 김준형 (금호정보통신연구소 박막기술팀) ;
  • 김근식 (금호정보통신연구소 박막기술팀)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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