Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Formation of Polycrystalline Silicon Film by Rapid Thermal Annealing

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

  • 김태경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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