한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

Electrical properties of $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ thin films prepared on Pt/Ti/$SiO_2$/Si by Plasma Enhanced MOCVD techniques

  • 이재창 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 신웅철 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 윤순길 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
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