Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.10a
/
Pages.116-116
/
1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of YSZ(Yttria-stabilized zirconia) thin film by RF-magnetron sputtering

RF-magnetron sputtering를 이용한 YSZ(Yttria-stabilized zirconia) 박막의 제조 및 특성 평가

황순원 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실)

Published : 1997.10.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords