Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.98-98
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- 1997
Effects of Growth Parameter on The Properties of Thick GaN Using HVPE with Ga${Cl}_{3}$
Ga${Cl}_{3}$ 를 이용한 HVPE에서 성장변수가 GaN의 성장특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords