스퍼터링 증착조건과 기판의 종류가 Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$ 박막의 성장에 미치는 영향

The Effects of Sputtering Parameters and the Substrates on the Growth of Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$

  • 발행 : 1997.10.01